半導體晶圓的加工用高亮度鹵素光源裝置-YP-150I/YP-250I

發(fā)布日期：2021-04-09      瀏覽次數(shù)：1603

半導體晶圓的加工用高亮度鹵素光源裝置-YP-150I/YP-250I

    

高亮度鹵素光源設(shè)備是 一種宏觀觀察照明設(shè)備，用于檢測各種缺陷，
例如異物，劃痕，拋光不均勻，霧度和終成品表面上的打滑，這在半導體晶圓的加工過程中是費力的工作和液晶基板.

概述

　　1.樣品表面的照明度可達到400,000 Lx以上。

　　2.由于使用鹵素燈作為光源，因此色溫高，幾乎沒有不均勻的照明，并且照明
　　　　非常穩(wěn)定且清晰。

　　3.通過使用冷鏡，可以將熱量的影響極大地
　　　　降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。

　　4.兩階段切換機制使您可以通過一次觸摸在高光觀察和低光觀察之間進行切換
　　　　。
　　　　YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
　　　　?照度范圍φ60
　　　?。╕P-250I可以從螺旋槳式風扇和風管式風扇中選擇）。

標準構(gòu)成如下。

照度：照射距離　310mm、照射直徑徑　55mmφ時照度在　400，000　Lux以上）

光源：直流點燈　17V/185W　鹵素燈

照度調(diào)整：連續(xù)可調(diào)至照度的　20%

冷卻方式：強制空冷

使用溫度范囲：0～40℃

電源電圧：AC　95V～AC　260V，50/60Hz

功率：250W

尺寸：光源　136mm　H×112mm　W×150mm　D

電源　229mm　H×90mm　W×250mm　D

重量：光源2.3kg

電源3.6kg

立桿5.0kg