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oval熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理
熱式質(zhì)量流量計(jì)由主流路、旁通流路、設(shè)置在主流路中的加熱器和溫度傳感器（流量傳感器）以及設(shè)置在旁通流路中產(chǎn)生流量的層流元件構(gòu)成。主要流路 由作為主要單元的主體和處理來(lái)自流量傳感器的質(zhì)量流量信號(hào)的電路等組成?？刂破鲗⑷缟吓渲玫馁|(zhì)量流量計(jì)與電磁閥組合成流量控制部分。（根據(jù)規(guī)格，某些型號(hào)有單獨(dú)的電磁閥。）
主要流動(dòng)路徑是毛細(xì)管，連接到該毛細(xì)管的兩個(gè)溫度傳感器形成橋式電路的一部分。當(dāng)流體流經(jīng)毛細(xì)管時(shí)，兩個(gè)溫度傳感器之間會(huì)產(chǎn)生與質(zhì)量流量相對(duì)應(yīng)的溫差，溫度傳感器檢測(cè)到的溫差會(huì)改變橋式電路的平衡，因此會(huì)產(chǎn)生與流量相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)得到了?？梢宰龅?。由于在兩個(gè)溫度傳感器之間放置了一個(gè)加熱器，因此可以將橋式電路檢測(cè)到的溫差輸出作為穩(wěn)定的質(zhì)量流量輸出。溫差輸出轉(zhuǎn)換成電壓，放大后成為輸出信號(hào)?？刂破鲗?duì)電路部分的流量輸出信號(hào)和流量設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較計(jì)算，并將差值控制為零。
熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
1.可直接測(cè)量質(zhì)量流量
2.無(wú)活動(dòng)部件
3.甚至可以測(cè)量非常小的流量等等。
此外，由于熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理，必須注意以下幾點(diǎn)。
1.測(cè)量對(duì)象有限制（氣體和液體的流量非常小）
2.抗污能力弱（適用于清潔流體）
3.不同的流體有不同的傳感器靈敏度（如果流體的類型不能固定，就不能進(jìn)行正確的測(cè)量）
然而，用于測(cè)量微小流量的熱式質(zhì)量流量計(jì)預(yù)計(jì)在未來(lái)將越來(lái)越流行，主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的采樣、混合和稀釋。
